플라즈마 스퍼터링이란?

플라즈마 스퍼터링은 다양한 물질의 박막을 만드는 데 사용되는 기술입니다. 플라즈마 스퍼터링 공정 동안, 가스 형태의 타겟 물질은 진공 챔버로 방출되어 고강도 자기장에 노출된다. 이 필드는 원자에 음전하를 주어 원자를 이온화합니다. 일단 입자가 이온화되면, 이들은 기판 재료 상에 떨어지고 정렬되어, 수백 내지 수백 개의 입자 두께로 측정 할 수있을 정도로 얇은 필름을 형성한다. 이 박막은 광학, 전자 및 태양 에너지 기술을 포함한 여러 산업에서 사용됩니다.

플라즈마 스퍼터링 공정 동안, 한 장의 기판이 진공 챔버에 배치된다. 이 기판은 금속, 아크릴, 유리 또는 플라스틱을 포함하여 다수의 상이한 재료로 구성 될 수있다. 기판의 유형은 박막의 의도 된 용도에 기초하여 선택된다.

플라즈마 스퍼터링은 진공 챔버에서 수행해야합니다. 플라즈마 스퍼터링 공정 동안 공기의 존재는 공기가 질소, 산소 및 탄소를 포함하여 많은 다른 유형의 입자를 포함하기 때문에 한 종류의 입자의 막을 기판 상에 증착하는 것을 불가능하게 할 것이다. 기판이 챔버에 배치 된 후, 공기는 ​​연속적으로 흡입된다. 챔버 내의 공기가 사라지면, 타겟 재료는 가스 형태로 챔버 내로 방출된다.

기체 형태로 안정적인 입자 만 플라즈마 스퍼터링을 사용하여 박막으로 만들 수 있습니다. 알루미늄,은, 크롬, 금, 백금 또는 이들의 합금과 같은 단일 금속 원소로 구성된 박막은 일반적으로이 공정을 사용하여 생성됩니다. 많은 다른 유형의 박막이 있지만, 플라즈마 스퍼터링 공정은 이러한 유형의 입자에 가장 적합하다. 입자가 진공 챔버에 들어가면, 기판 재료에 침전되기 전에 이온화되어야합니다.

강력한 자석을 사용하여 대상 재료를 이온화하여 플라즈마로 만듭니다. 대상 물질의 입자가 자기장에 접근함에 따라 추가 전자를 픽업하여 음전하를 발생시킵니다. 이어서 플라즈마 형태의 타겟 물질이 기판으로 떨어진다. 인쇄물 시트를 움직여서 기계는 플라즈마 입자를 잡아서 정렬시킬 수 있습니다. 박막은 원하는 필름 두께 및 목표 물질의 유형에 따라 형성하는 데 며칠이 걸릴 수 있습니다.

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